磁控溅射组件

我们可为客户提供定制化的平面靶、旋转靶、圆盘靶等各种类型的磁控溅射组件,适用于不同的PVD溅射靶材料和形状。我们具有先进的精密加工能力,可加工各种材料的配套零件,并进行整体装配与清洗。我们还可对组件进行水压、绝缘、气密等测试,确保产品的质量和性能符合客户要求。

 

我们的产品还具有以下特点和优势:

• 高效率:磁钢采用先进的磁材控制技术,提升工作磁场的一致性,实现高效的溅射过程,提高涂层制备效率与靶材利用率。

• 高质量:我们的产品采用优质的材料和先进的制造工艺,可以确保产品的质量和性能。

• 可靠性:我们的产品具有稳定性和可靠性,可长期稳定运行,保证涂层质量和制备效率。

• 灵活性:我们可以为客户提供定制化的产品,可根据客户的需求进行设计和制造,以满足不同的涂层制备需求。

• 专业团队:我们拥有专业的技术团队,具有丰富的经验和技术能力,可为客户提供全方位的技术支持和服务。

 

我们的磁控溅射组件可应用于光电子、半导体、表面处理等领域,满足客户在高端涂层制备和研究领域的需求,是客户信赖的合作伙伴。


产品详情

产品关键词

零部件

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磁钢

磁钢是磁控溅射组件的关键零部件,磁钢的磁路排布与磁场一致性直接影响最终的溅射效果。由于工作过程电子辉光放电发热,磁钢还需要具备一定的耐温性能。

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机加工件

磁控溅射组件的机加工件一般为底座、极靴、罩壳、连接件等部分,材质为低碳钢、不锈钢、铜、铝、尼龙等,水冷环境条件下,铁质部件还需做电镀防护处理。

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密封件

密封件起着密闭组件腔体,防止漏气漏水的重要作用。我们通常选用进口优质工业用密封圈,可长期稳定使用。

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紧固件

紧固件为各类型螺丝螺母、定位销、垫片、挡圈等,根据装配需要会作表面硬化处理。

组装与检测

按照标准作业流程,将各个零部件组装成为整体,之后根据使用工况要求,进行外观、表面磁场、氦检、水压、绝缘等多种检测。

磁控溅射组件装配检验过程
磁控溅射组件装配检验过程
磁控溅射组件装配检验过程

我们可按照客户对磁控溅射组件产品的要求,从咨询,设计,打样到批量生产,提供全流程定制化服务。


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